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大功率桌面濺射儀

產(chǎn)品簡介

大功率桌面濺射儀,采用小電流高電壓,最大功率1000w,配有水冷機接口,可長時間運行

產(chǎn)品型號:KT-Z1650PVD
更新時間:2024-03-27
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1633
詳細介紹在線留言
品牌鄭科探價格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應用領域綜合

大功率桌面濺射儀,采用小電流高電壓,最大功率1000w,配有水冷機接口,可長時間運行。該產(chǎn)品為臺式磁控濺射鍍膜機,能夠在非導電或?qū)щ姴涣嫉臉悠飞贤坎冀穑?span>Au),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au / Pd)的薄膜。 在較短時間內(nèi)即可形成具有細粒度的均勻薄膜,使樣品適用于掃描電子顯微鏡(SEM)分析。儀器結構緊湊,全自動控制,設計符合人體工程學,所得結果一致,可重復性高。

主要特點:

輕便、濺射面積大
靶材可按用戶要求加工制作

小型離子濺射儀信息由南京舜儀實驗設備有限公司為您提供,如您想了解更多關于小型離子濺射儀報價、型號、參數(shù)等信息,歡迎來電或留言咨詢。


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大功率桌面濺射儀技術參數(shù);

控制方式

7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1000W

輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

真空

機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

樣品臺

可旋轉(zhuǎn)φ62  (可安裝φ50基底)

樣品臺轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

40-105mm

真空測量

皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口





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